Abstract :
Proses wafer probe merupakan sebuah proses pengujian wafer yang dilakukan untuk
mengetahui die mana saja yang mengalami kerusakan. Die adalah bagian inti dari wafer
yang akan dilakukan pengujian atau pengetesan awal. Hal ini disebabkan die yang
dihasilkan pada proses wafer fabrication tidak 100% berfungsi dengan baik. Untuk
mengetahui die mana saja yang rusak, diperlukan pengetesan awal. Teknisi yang
disediakan oleh pihak perusahaan tidak sebanding dengan jumlah mesin dan tingkat
kesulitan dari setiap masalah yang dihadapi. Oleh karena itu, untuk membantu kinerja
teknisi, dibutuhkan sistem pakar yang dapat berperan sebagai assistant bagi teknisi
dalam menganalisa permasalahan tentang kerusakan yang terjadi khususnya kerusakan
pada proses wafer probe. Data-data yang berkaitan dengan kerusakan pada proses
wafer probe dianalisa lalu diolah menggunakan metode sistem pakar forward chaining.
Model representasi pengetahuan yang digunakan dalam sistem pakar adalah berbasis
kaidah produksi. Desain sistem dilakukan menggunakan bantuan aplikasi starUML.
Sistem pakar dibuat menggunakan bahasa pemrograman PHP dan database MySQL
sehingga menghasilkan sebuah sistem pakar untuk mendeteksi kerusakan pada proses
wafer probe menggunakan metode forward chaining berbasis web. Berdasarkan hasil
pengujian, sistem pakar sudah berfungsi cukup baik dengan nilai keakuratan sistem
mencapai 80%. Sistem pakar untuk mendeteksi kerusakan pada proses wafer probe
menggunakan metode forward chaining berbasis web dapat digunakan untuk
membantu teknisi, dalam menangani permasalahan yang berkaitan dengan kerusakan,
dan juga dapat digunakan sebagai sumber pengetahuan mengenai hal-hal yang
berhubungan dengan kerusakan pada proses wafer probe seperti gejala, penyebab serta
solusi atau cara untuk mengatasinya